Найкраще в технології сонячних батарей TOPCon полягає в тому, що виробничий процес настільки схожий на сонячні елементи PERT, що виробники можуть модернізувати свої існуючі виробничі лінії лише з невеликими інвестиціями. Більшість виробничого обладнання може залишатися незмінним. Це робить сонячні елементи TOPCon чудовою інвестицією для виробників фотоелектричних модулів PERC/PERT, які вже є на ринку.
1. Першим кроком у виготовленні сонячних елементів TOPCon є хімічне текстурування поверхні пластини за допомогою гідроксиду калію (КОН) для усунення пошкоджень від розпилу під час нарізання пластин із c-Si.
2. Після очищення пластини, вона формується на передній стороні комірки шляхом нанесення триброміду бору (BBr) за допомогою дифузійного методу, але потім тильна сторона видаляється шляхом нанесення азотної кислоти та фтористоводневої кислоти (HF/HNO), і ультратонкий оксид утворюється вологим хімічним шаром занурення.
3. Щоб виростити шар nPoly-Si, допований фосфором шар аморфного кремнію (na-Si:H) вирощується за допомогою процесу хімічного осадження з газової фази (PECVD). Потім він перетворюється на шар nPoly-Si після відпалу при 900ºC. + +
4. Сонячні елементи додатково очищаються, пасивуються та наносяться покриття за допомогою PECVD.
5. Нарешті, срібні/алюмінієві контакти покриваються для металізації за допомогою трафаретного друку, використовуючи метод швидкого випалу з максимальною температурою 760ºC для металізації.
Після виготовлення сонячних елементів TOPCon було проведено характеристику IV кривої сонячних елементів для оцінки їх продуктивності.
Блок-схема.
Технологія сонячних батарей TopCon має структуру та виробничий процес, подібні до сонячних батарей PERC, лише за допомогою кількох додаткових кроків ми можемо зрозуміти один із процесів.
